사업분야
FUME FILTER

NXD-102-CF

불소 냉각 유체 산화물제거 외기수분제거 기액 분리 방식을 통한 coolant 회수 기능 물리적&화학적 방식을 통한 산화물 흡착
사이즈 표준 : 230 X 130 X 45(H) (고객 요청에 따라 Customizing 가능)
인증 특허출원 : 10-2013-0115899
특이사항

– Tank의 Vent 관리 (온실가스 유출 억제)
– 냉각 유체 산화 독성 가스 (HF, VOCS 등) 외부 누출 차단
– 외기와 냉각 유체의 접촉 방지
– 증발 억제 기능
– 냉각 유체 회수 기능 (고온 증발 및 배관 Purge 시)

설치 사진