사업분야
Test Chiller
반도체 Test Chiller는 웨이퍼 프로버(Prober), 번인(Burn-in), 테스트 챔버(Test Chamber)와 같은 반도체 테스트 장비에서 발생하는 열을 제어하기 위해 사용되는 정밀 냉각 장치입니다.테스트 중 칩에서 발생하는 열은 전기적 특성 측정에 큰 영향을 미치므로, 칠러는 온도를 빠르고 정확하게 제어하여 데이터 신뢰성과 반복성을 보장합니다.
주요 역할
– 온도 안정화 : 테스트 장비 내부 및 DUT(Device Under Test)의 온도를 ±0.5℃ 수준으로 제어
– 발열 제거 : 칩 구동 시 발생하는 열을 빠르게 흡수하여 열 누적 방지
– 테스트 신뢰성 확보 : 온도 편차에 따른 전기적 특성 변동 최소화
– 수율 향상 : 불필요한 온도 스트레스로 인한 오판정(false fail) 방지
적용 분야
– 웨이퍼 프로버 테스트 (칩 전기 특성 측정)
– 패키지 테스트 (IC 패키지 온도 신뢰성 시험)
– 신뢰성 평가 (Thermal Cycling, Burn-in Test)
– MEMS/센서 테스트 (온도 민감 소자 환경 평가)
PRODUCT
Wafer Probe Test Chiller
Wafer System Chiller