사업분야
Wafer Probe Test Chiller
NXC-102SE-AHA -LT
부하 제어 -55℃~95℃ Coolant 및 Chuck 제어 온도 상/하강시 선형 비례 제어 초저온 노점 관리
| 사이즈 | 525 (W) x 1,070 (D) x 1,660 (H) |
| 인증 | CE Certified |
특이사항
– 부하 제어(Load Control) 방식 (Anti-Thermal shock, Patented)
– 55℃~95℃ Coolant 및 Chuck 제어 (STD. Range : -40℃ ~ 95℃ )
– 고밀도 Coolant에 최적화된 Leak-free Pumping system
– 온도 관련 설정이 적어 손쉬운 안정화 (Within 60min. after install)
– 온도 상/하강 시 선형 비례 제어 (Prevent Heat distortion)
– 초저온의 노점(Dew Point) 관리 (Dry-Air is not used)