Coolant Saver의 약자로 냉각유체 (Galden,Fluorinert 등)의 절감 기능 및 산화 감지 기능, 불산 유출 방지, 수분 혼입 장지 등의 환경 안전적기능을 포함한 칠러 냉각유제 종합관리 System 이다.
반도체 칠러에 사용되는 냉각 유체는 공정 장비의 온도를 정밀하게 제어하기 위해 사용됩니다.
냉각 유체는 불소 수지 계열 냉매 (Coolant : Galden / Fluorinert etc. )를 사용 하며 내부식성, 전기절연성, 온도 안정성을 갖고 있습니다.
그러나 고온 운영 시 열과 화학적 노출이 장기간 지속될 경우 독성 산화 물질 (F 화합물)로 변질되어 제품 산화와 환경 오염을 발생 시킵니다.
그리고 저온 운영 시 냉각액에 혼입된 수분 (H2O)으로 인해 칠러의 성능 저하 (압축기 결빙, 온도 상승 등)를 발생 시킵니다.
FUME Filter(기체용 수분 제거)
냉각 유체의 과열 시 발생되는 산화 물질의 외부 유출 방지, 냉각 유체의 증발 억제 및 회수를 통해 대기 노출 방지, (온실가스 유출 억제)
Moisture Filter(액체용 수분 제거)
냉각 유체에서 수분 및 산(Acid) 성분을 제거 하여 시스템 신뢰성과 칠러 수명을 연장하는 핵심 보조 장치
냉매 성능 개선
– 저온 냉각 유체의 수분 발생 방지 및 외부로부터 유입 방지
냉매의 사용 수명 증대
– 냉각 유체의 산화 감지, 자연 증발 방지, 고온 증발 시 냉각 유체 회수 기능
반도체 Chemical 의 산업 안전 보건법의 대응
– 냉각 유체 산화물의 직접적인 외부 유출을 차단하여 안전 및 기기 성능 확보
– MTTR 감소
– 관리 비용 감소
외기(Air)에서 유입되는 수분 제거
– 기체용 수분제거
냉각유체의 장기간 운영으로 생성된 다량의 물 제거
– 액체용 수분제거
| 구분 | 불산(HF) 농도 | 상대확장 불확도 |
| C-Saver IN | 548 ppm | ±1% |
| C-Saver OUT | 0 ppm | ±1% |
| 구분 | 불산(HF) 농도 | 상대확장 불확도 |
| C-Saver IN | 401 ppm | ±1% |
| C-Saver OUT | 25 ppm | ±1% |
| 구분 | 불산(HF) 농도 | 상대확장 불확도 |
| C-Saver IN | 173 ppm | ±1% |
| C-Saver OUT | 35 ppm | ±1% |
| 구분 | 불산(HF) 농도 | 상대확장 불확도 |
| C-Saver IN | 360 ppm | ±1% |
| C-Saver OUT | 0 ppm | ±1% |
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