사업분야
MIST FILTER
NXD-102MFW
PM시(Purge시)메인 배관내 coolant가 칠러 Vent 라인 을 통해 외부로 분출 되지 않도록 필터링 하는 장치 (액체+기체 상태포함)
| 사이즈 | 234 x 180 x 513 (Body only) | |
| 재질 | Stainless Steel (외부) | |
| 제거방식 | 흡착형 | |
| 사용 압력 | ~ 2 kgf/cm2 |
특이사항
– 액체 및 기체 Coolant 포집→ Fab 내 배출 오염 방지
– 포집 된 Coolant를 저장 후 회수→ Coolant 관리
설치사진
