NXC-DIW CHILLER(Heat Exchanger)

반도체 EDS 공정중 Tester의 발열을 제거하고 정밀온도 제어하며 냉각액을 고유량 & 일정한 유량을 공급

사이즈	402.4(W) × 902.4(D) × 1,299.4(H) mm
인증	CE Certified

특이사항

– 24시간 무정지 시스템으로 신뢰성 확보

– PID 제어방식
– 18℃~28℃ DI Water 정밀 제어
– DI Water Resistivity 관리 System 및 UV 살균기능 제어
– 고유량 선형 비례 제어